プラズマ式排ガス処理装置
常圧プラズマ式 雷電・雷電デュアル
最新型の高エネルギーリアクタ搭載でPFCガスを除害。
【用途】
エッチング装置から排出されるプロセスガスとPFCガスの処理用
【特徴】
- 従来のサンダーシリーズより最大処理流量を大幅にアップ
- 消費電力は従来装置よりも約20％以上削減を達成
Products製品一覧
プラズマ式排ガス処理装置
エッチング装置から排出されるプロセスガスとPFCガスの処理用
