プラズマ式排ガス処理装置
減圧用プラズマ式 GEAL
世界初、減圧領域で使用が可能。新しい発想からのプラズマ除害装置。
＊開発パートナー募集中＊
【用途】
排ガス処理を必要とする生産装置から排出されるプロセスガスとPFCガスの処理用
【特徴】
- 新技術の減圧領域対応可能な超高温プラズマによる高効率な処理性能を発揮する排ガス処理装置。
- 最小限のユーティリティだけで運転可能。
- 既存の真空ライン配管に接続可能。
- 定期的な保守による高寿命。
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プラズマ式排ガス処理装置
